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6月29-7月1日 沃瑞半導體材料事業部參展半導體重慶博覽會?S1館A172
沃瑞半導體事業部將參展第四屆全球半導體產業(重慶)博覽會,攜帶多款創新方案產品,期待與您共拓半導體行業新道路。
光刻機在運作時,會被電纜材料的微塵、靜電積聚所污染,對元件造成損壞。Voir®高柔扁平電纜具有超低釋氣率特性,可防止在超真空環境下電纜釋氣體污染芯片。自主研發的Voir®高柔扁平電纜打破國外少數廠商控制和壟斷,是光刻機理想的清潔電纜方案。
Voir®高柔扁平電纜在真空環境下,保持無微塵,無污染,超低釋氣,使光刻機在運作時,處在一個真空環境下工作,不受任何氣體及微小塵埃影響, 提高鏡頭在工作中對芯片制作精密度,經驗證具有長期可靠性和耐久性。
一、Voir®電纜及電纜組件
沃瑞基于高分子ePTFE核心材料研發出電纜及電纜組件,已應用于光刻機、晶圓制造、半導體制造,顯示面板等領域,ePTFE材料的高柔抗靜電低集塵線纜方案已開始應用于國內頂級知名半導體芯片制造企業。
二、Voir®過濾膜及過濾組件
Voir®過濾組件采用ePTFE過濾膜為過濾介質,具有優越截留率和無與倫比的流量;梯度孔徑結構設計,分級過濾,使得過濾組件具有更高的納污量和更長的壽命。適用于對性能、質量、和產品清潔度要求苛刻,并可重復性的制造過程應用。
三、Voir®密封材料技術
Voir®密封材料技術分為全氟密封材料和e-PTFE密封材料,具有耐溫性和較高機械強度,純凈度高、析出少、優異的化學穩定性等特點,完全滿足芯片制程工藝特殊應用環境,解決嚴苛的密封需求。為各種嚴苛的應用環境提供了可靠的密封方案,可用于半導體制造、電力和航海等各行各業。
沃瑞工程師:“Voir®高柔扁平電纜是基于核心材料e-PTFE高分子膨化聚四氟乙烯,采用創新材料工藝技術,以客戶需求為基礎,進行方案創新,實現了率先突破。此外,我們還提供抗靜電高柔無塵拖鏈等多款創新方案產品,歡迎到訪參觀交流。”
關于重慶博覽會
第四屆全球半導體產業(重慶)博覽會以客戶需求為導向,聚焦半導體產業熱點難點,涵蓋半導體產業集成電路設計、制造、封裝測試、半導體材料、設備等,推動半導體產業高質量創新發展。
沃瑞半導體材料部件事業部(SCU)
專注半導體領域基于氟聚合物材料及線纜組件傳輸方案產品,助力制造/封裝/封測設備廠商提供可靠的信號傳輸,為光刻過濾提供PTFE濾膜及全氟濾芯組件以及氟密封方案。已為多家半導體廠商提供方案產品包括亞洲領先的半導體設備廠商。